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COG檢查顯微鏡
產(chǎn)品型號(hào): COG檢查顯微鏡
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檢查顯微鏡
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用途
1)OMT-4R金相顯微鏡為蘇州歐米特新型FPD檢查顯微鏡,專為L(zhǎng)CD行業(yè) / TFT玻璃 / COG導(dǎo)電粒子壓痕、粒子爆破檢查
2)OMT-4R金相顯微鏡機(jī)型采用4寸、6寸平臺(tái)設(shè)計(jì),可適用于相應(yīng)尺寸的晶圓或小尺寸樣品的金相檢查
特點(diǎn)
1)OMT-4R金相顯微鏡,其微分干涉效果可與進(jìn)口品牌相媲美
2)OMT-4R金相顯微鏡機(jī)型采用全新設(shè)計(jì)的長(zhǎng)工作距物鏡、半復(fù)消色差技術(shù),多層寬帶鍍膜技術(shù),采用長(zhǎng)壽命LED光源
3)多種高度功能化的附件,能滿足各種檢驗(yàn)需要,可用于明場(chǎng)、簡(jiǎn)易偏光、微分干涉觀察
技術(shù)參數(shù)
(以下參數(shù)根據(jù)客戶實(shí)際需求配置)
配 置
參 數(shù)
光學(xué)系統(tǒng)
無(wú)限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng)
觀察方法
明場(chǎng) / 斜照明 / 偏振光 / DIC
觀 察 筒
正像觀察筒,25°鉸鏈?zhǔn)饺浚止獗龋p目:三目=100:0或0:100
目 鏡
PL10X/22平場(chǎng)高眼點(diǎn)目鏡
轉(zhuǎn) 換 器
5孔內(nèi)傾式轉(zhuǎn)換器,帶DIC插槽
物 鏡
無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距明暗場(chǎng)金相物鏡5X LMPL5X /0.15 WD11mm
無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距明暗場(chǎng)金相物鏡10X LMPL10X /0.3 WD9.5mm
無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距明暗場(chǎng)金相物鏡20X LMPL20X /0.45 WD3.4mm
無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距明暗場(chǎng)半復(fù)消金相物鏡50X LMPLFL50X /0.55 WD7.5mm
無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距明暗場(chǎng)半復(fù)消金相物鏡100X LMPLFL100X /0.80 WD2.1mm
調(diào)焦機(jī)構(gòu)
粗微調(diào)同軸、粗調(diào)行程33mm,微調(diào)精度0.001,帶粗調(diào)機(jī)構(gòu)上限位及松緊調(diào)節(jié)裝置。內(nèi)置90-240V寬電壓變壓器,單路電源輸出
載 物 臺(tái)
4寸雙層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái),行程105X105mm,帶金屬平板平臺(tái),右手位X、Y移動(dòng)手輪
6寸三層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái),行程158X158mm,玻璃工作臺(tái),右手位X、Y移動(dòng)手輪,帶離合器手柄,可快速移動(dòng)
另可選配:8寸移動(dòng)平臺(tái)
照明系統(tǒng)
反射:帶可變視場(chǎng)光,均可調(diào)中心;帶濾色片插與偏光裝置插;帶明暗場(chǎng)切換機(jī)構(gòu),預(yù)置中心,采用數(shù)字調(diào)光,具有光強(qiáng)設(shè)定與復(fù)位功能
透射:?jiǎn)晤w大功率5W LED,白色,光強(qiáng)連續(xù)可調(diào)。N..A.0.5聚光鏡,帶可變孔徑光闌
偏光附件
檢偏鏡可360度旋轉(zhuǎn),起偏鏡和檢偏鏡均可移出光路
CTV接口
1X、1/2X
蘇公網(wǎng)安備 32059002001842號(hào)